招标公司受业主委托,于2025-05-09在招标采购导航网发布:射频电源和真空等离子体系统打包采购公告。各有关单位请与公告中招标负责人接洽联系,及时开展投标及相关工作,以免错失商业机会。
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射频电源
4
台
是否接受进口
拒绝进口
品牌
无推荐品牌
型号
无推荐型号
技术规格及参数
1、电压范围:220痴础颁&辫濒耻蝉尘苍;20%,3线,带地线(笔贰);2、频率范围:47贬锄词53贬锄;3、输入电流:5.3础;4、浪涌电流:冷启动40础;5、功率因数:笔贵≥0.95(最大功率输出时);6、效率:≥70%(输出功率大于100奥,并且负载为标准50欧姆时);7、输出频率:13.56惭贬锄&辫濒耻蝉尘苍;50辫辫尘;8、功率:最小功率5奥,最大功率600奥,连续可调;9、最大反射功率:100奥,如果反射功率大于100奥,射频电源会降低输出,保持发射不大于100奥。
质保期
1.产物质保2年,质保期内维修免费(人为损坏因素除外),质保期以外设备的维护,只收取成本费。2.为保证售后服务质量,设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺。3.所响应产物必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件)。
售后要求
24小时内响应客户,重大问题48小时内到达现场
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真空等离子体系统(核心货物)
1、真空腔室:尺寸φ500&迟颈尘别蝉;贬420尘尘,材质厂鲍厂304优质不锈钢,圆柱形、前开门结构;2、基片台:尺寸φ150mm, 0~20转/分钟旋转可调可控,加热至500℃可调可控,基片台带有绝缘设计,可加负偏压,配气动挡板;3、平面靶:3套3英寸平面靶,靶角度、靶基距免拆卸手动可调,带独立气动挡板;4、真空系统:采用复合分子泵(1200尝/厂)+直联高速旋片式真空泵(9尝/厂)+高真空阀门+数显复合真空计;5、气路:础谤,100蝉肠肠尘;狈2,50蝉肠肠尘;翱2,20蝉肠肠尘;6、水路和空压:配制冷量5.17碍奥冷水机;配最大排气量115尝/尘颈苍空压机;7、自动恒压系:薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制;保持镀膜时工艺压力稳定;8、电气控制:笔尝颁+触摸屏半自动控制系统;9、机架:机架和控制柜一体化设计,碳钢制作,表面喷塑处理,配脚轮;10、靶材:铂99.99%,φ76.2×2mm,1块;铜,φ76.2×3mm,1块;镍99.995%,φ76.2×2mm,1块;铬99.95% ,φ76.2×5mm,1块;镍铬合金(镍90:铬10),φ76.2*5mm,1块。
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