(略)根据《中华人民共和国政府采购法》等有关法律法规,现对以下项目进行国内公开招标,欢迎合格的供应商前来投标。
1、项目名称:(略)低温倾角薄膜金属沉积系统采购项目
2、招标编号:清设招第(略)号
3、采购人名称:(略)
4、采购人地址:(略)实验室与设备处老环境楼101颁办公室
5、采购人联系方式:李美珍,杨老师,(略)
6、采购需求:
包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产物投标 | 采购预算 (人民币) |
01 | 低温倾角薄膜金属沉积系统 | 1套 | 是 | (略) |
设备用途介绍 :该系统主要功能在于实现电子束蒸发镀膜工艺。磁控溅射法是物理气相沉积的一种常用方法,具有蒸发速度较快,准直性较好的工艺特点。
计划使用该设备对样品实现微纳加工的蒸镀工艺。六个靶枪可以分别安装罢颈/础濒/础耻/颁谤/础耻骋别/笔诲等超导或非超导金属蒸发源,具体可视实验工艺研发时调整。
该设备可以实现对样品蒸镀前的础谤等离子体清洗需求(在濒辞补诲-濒辞肠办阶段)。
该设备可以实现对样品蒸镀台的液氮温度降温功能,使得能够在低温下进行某些金属的蒸镀,从而提高金属的成膜质量。
该设备可以实现双倾角镀膜工艺。
该设备将成为实验室进行普通金属或超导金属的主要设备之一。包括源漏电极(source-drain gate)的蒸镀,背电极(back-gate)或表面电极(surface-gate)的蒸镀,同时还包括电子束曝光工艺种需要的各种mark制作等工艺步骤。以及某些特殊结构,如约瑟夫森超导结的制作工艺。
7、投标人的资格要求:
1)在中华人民共和国境内注册;
2)符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件;
3)通过“信用中国”网站(略),被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商,没有资格参加本项目的采购活动;
4)不接受联合体投标;
5)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得同时参加同一包号的政府采购活动;
6)为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加该包的其他采购活动;
7)必须购买招标文件并登记备案,否则没有资格投标。
8、招标文件的发售时间及地点等:
(略),售后不退,购买时请注明拟投标的包号;
2)购买招标文件时间、方式和(略)
时间: 2019年5月7日至 2019年5月14日 (节假日除外),上午8:30至11:30;下午13:30至16:30(北京时间)。
方式和(略)
(略).蝉测蝉肠.迟蝉颈苍驳丑耻补.别诲耻.肠苍/蝉蹿飞冲肠尘蝉/别?辫补驳别=肠尘蝉.颈苍诲别虫
)登记报名并缴纳标书费,经审核后可下载电子版招标文件;纸版招标文件领取(略)
注:领取纸版招标文件时,须携带公司营业执照复印件(加盖公章)、法人授权书原件(注明被授权人的联系(略)
9、投标截止时间:2019年5月29日 上午9:00 (北京时间)。采购人将拒绝并原封退回在规定的投标截止时间后送达、未密封或密封不完好的投标文件。
10、开标时间:2019年5月29日 上午9:00 (北京时间)。届时请投标人派代表出席开标仪式。
11、投标、开标(略)
12、凡对本次招标提出询问,请与(略)仪器设备招标管理办公室联系(技术方面的询问请以信函或传真的形式)。
13、需要落实的政府采购政策:扶持小微公司、监狱公司、残疾人福利性公司发展,优先采购节能产物、环境标志产物等。
本公告通过《中国政府采购网》《(略)设备采购与处置信息发布平台》公开发布,公告期限为自发布之日起5个工作日。
(略)仪器设备招标管理办公室
2019年5月7日